傳統清洗技術包括機械摩擦清洗（噴砂清洗、高壓水槍清洗等）、化學腐蝕清洗、超聲波清洗、干冰清洗等，這些清洗技術已經廣泛應用于各行各業，如噴砂清洗通過選擇不同硬度的磨料可以清洗金屬繡斑、金屬表面毛刺、電路板表面三防漆等，化學腐蝕清洗技術廣泛用于設備表面油垢清洗、鍋爐水垢清洗、輸油管路清洗等領域。雖然這些清洗技術已發展成熟，但仍然存在一些問題，如噴砂清洗容易對處理表面造成損傷，化學腐蝕清洗會造成環境污染、處理不當時導致清理表面腐蝕。

激光清洗技術的出現是對清洗技術的一次革命。激光清洗技術利用了激光的能量密度高、精度高、可高效傳導等優點，較傳統清洗技術在清洗效率、清洗精度、清理位置等方面有明顯優勢，可有效避免化學腐蝕清洗等清洗技術會造成的環境污染，且不會對基底產生損傷。

激光清洗是通過激光束照射從固體（或有時為液體）表面去除材料的過程。在低激光通量下，材料被吸收的激光能量加熱并蒸發或升華。在高激光通量下，材料通常會轉換為等離子體。通常，激光清洗是指用脈沖激光去除材料，但是如果激光強度足夠高，則可以用連續波激光束燒蝕材料。深紫外光的準分子激光器主要用于光燒蝕。用于光燒蝕的激光波長約為200nm。吸收激光能量的深度以及單個激光脈沖去除的材料量取決于材料的光學特性以及激光波長和脈沖長度。每個激光脈沖從靶標燒蝕的總質量通常稱為燒蝕率。激光束掃描速度和掃描線覆蓋率等激光輻射特征會顯著影響燒蝕過程。